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高純液氮

高純液氮純化方法:

氮氣純化方法主要有吸附法、變壓吸附法、膜分離法等。在生產中,通常采用黑色鋼瓶盛放氮氣。

高純液氮的用途:

在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣,化學氣相淀積時的載氣,液體擴散源的攜帶氣,在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發等工序中,作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術中,液氫加注系統先用高純氮置換,再用高純氦置換。

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分析報告單
  檢驗依據:GB/T8979-2008                 編碼:0001902
樣品名稱:液氮 取樣地點:液氮槽車
分析項目 指標 分析結果
氮氣(N2)純度(體積分數)/10-2          ≥      99.999
氧(O2)含量(體積分數)/10-6            ≤ 3
氫(H2)含量(體積分數)/10-6             ≤ 1
一氧化碳(CO)含量(體積分數)/10-6      ≤ 1
二氧化碳(CO2)含量(體積分數)/10-6     ≤ 1
甲烷(CH4)含量(體積分數)/10-6         ≤ 1
水(H2O)含量(體積分數)/10-6           ≤ 3


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